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光學(xué)輪廓儀是用于3D形貌定量測試,和精密機(jī)械表面粗糙度檢測的理想非接觸式檢測工具。光學(xué)3D輪廓測量儀是精密光學(xué)測量設(shè)備，振動會對其測量精度造成擾動，所以幾乎都會配有隔振平臺。
3d光學(xué)輪廓測量儀可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，能達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量要求高的領(lǐng)域中。
光學(xué)3D輪廓測量儀工作原理：
光學(xué)3D輪廓儀是利用光學(xué)顯微技術(shù)、白光干涉掃描技術(shù)、計(jì)算機(jī)軟件控制技術(shù)和PZT垂直掃描技術(shù)對工件進(jìn)行非接觸測量，還原出工件3D表面形貌宏微觀信息，并通過軟件提供的多種工具對表面形貌進(jìn)行各種功能參數(shù)數(shù)據(jù)處理，實(shí)現(xiàn)對各種工件表面形貌的微納米測量和分析的光學(xué)計(jì)量儀器。
光學(xué)3D輪廓測量儀只需操作者裝好被測工件，在檢定軟件上設(shè)定物鏡倍率和測量模式后點(diǎn)擊“開始"按鈕，光學(xué)物鏡會對工件表面進(jìn)行自動對焦和非接觸掃描，并按設(shè)定的位置進(jìn)行測量，軟件界面會實(shí)時掃描物體宏微觀表面形貌；掃描結(jié)束后，操作者可通過分析工具對生成的3D形貌進(jìn)行分析，得到如輪廓、厚度、粗糙度、體積等多種表面形貌測量分析數(shù)據(jù)。主要用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量，可以達(dá)到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。
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