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中圖儀器SuperViewW系列0.1nm分辨率白光干涉光學輪廓儀能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸，主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。

中圖儀器SuperViewW光學3D輪廓儀粗糙度在線檢測設備基于白光干涉原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，以3D非接觸方式測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸?？蓮V泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。

SJ5800系列軸承表面粗糙度輪廓儀具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍，專業(yè)測試軸承內外側。分辨率高達到0.1nm，系統(tǒng)殘差小于3nm，高穩(wěn)定、高精密測量軸承。

中圖儀器國內粗糙度儀和輪廓儀廠家采用超高精度納米衍射光學測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導軌、高性能直流伺服驅動系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術，可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現(xiàn)一次掃描測量。

SuperViewW廣東光學3D輪廓儀表面粗糙度檢測儀器基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸?？蓪Ω鞣N產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

SJ5700DUAL雙向型輪廓掃描儀X軸、Z軸采用獨立運動系統(tǒng)，使用兩軸聯(lián)動運動控制算法，可實現(xiàn)X、Z雙軸聯(lián)動掃描，測量時測針在工件表面做仿形運動掃描（主動掃描），既保持了恒測力，又保證了大的陡坡通過能力，工件調平操作簡單，同時避免了崩針、掛針等問題。可以全量程大范圍連續(xù)掃描，擁有長達數(shù)百毫米的持續(xù)爬坡能力。