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中圖儀器SuperViewW1國產(chǎn)3D三維光學(xué)表面輪廓儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測量儀器。主要用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測量?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW1國產(chǎn)自研三維光學(xué)輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測量的檢測儀器。以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

中圖儀器SJ5800表面粗糙度檢測儀器采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級(jí)摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍，專業(yè)測試軸承內(nèi)外側(cè)。儀器分辨率高達(dá)到0.1nm，系統(tǒng)殘差小于3nm。

SJ5800系列接觸式高精度粗糙度輪廓儀具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍，專業(yè)測試軸承內(nèi)外側(cè)。輪廓和粗糙度一體測量，無需切換模塊?？梢詫?duì)零件表面，尤其是大范圍曲面，如圓弧面和球面、異型曲面等進(jìn)行檢測，是大曲面測量（軸承、人工關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、軸承滾子）領(lǐng)域精細(xì)粗糙度測量的利器。

中圖儀器SuperViewW1白光3D輪廓儀的復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn)，即可自動(dòng)掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙。

中圖儀器SJ5800軸承滾道PtRa粗糙度輪廓測量儀采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級(jí)摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)軸承及工件表面粗糙度和輪廓的高精度測量和分析。儀器具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍，分辨率高達(dá)到0.1nm，系統(tǒng)殘差小于3nm。輪廓和粗糙度一體測量，無需切換模塊。