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SuperViewW1中圖3d輪廓測量儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。

SJ5800中圖高精度粗糙度輪廓儀能實現(xiàn)對軸承及工件表面粗糙度和輪廓的高精度測量和分析。能滿足軸承行業(yè)絕大部分測量需求，除了圓柱滾子軸承的錐面直線度、粗糙度以及圓柱滾子的凸度分析，也支持其他軸承測量與結(jié)果分析。

SuperViewW1中圖光學(xué)3D表面輪廓儀器基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SuperViewW系列3D輪廓儀三維形貌儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

SJ5700S大量程粗糙度輪廓儀采用高精度光柵測量系統(tǒng)、高精度研磨導(dǎo)軌、高性能非接觸直線電機、音圈電機測力系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)對各種工件表面輪廓進行測量和分析。

中圖儀器SuperViewW1三維自動光學(xué)檢測輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。