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NS系列亞埃級分辨率臺階儀是利用光學干涉原理，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度，具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點。它可以測量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。

CEM3000系列國產(chǎn)鎢燈絲臺式掃描電鏡的發(fā)射電流大且穩(wěn)定，抗震和抗電磁干擾等性能較好，在一些較為復雜的工作環(huán)境中，如存在一定程度的機械振動或電磁干擾的實驗室、生產(chǎn)現(xiàn)場等，鎢燈絲臺式掃描電鏡依然能夠穩(wěn)定地工作，保證檢測結(jié)果的可靠性和重復性，減少因外界干擾而導致的圖像模糊、信號失真等問題。

CEM3000國產(chǎn)桌面掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結(jié)果。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中，該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術，展現(xiàn)出色的性能。

VT6000國產(chǎn)共聚焦3D材料分析顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共焦光學系統(tǒng)為基礎，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像，從而進行分析的精密光學儀器，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

VT6000材料3D形貌共聚焦測量顯微鏡基于光學共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量?？蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖國產(chǎn)臺階儀品牌NS系列主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率，同時，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。