任何機(jī)床加工設(shè)備，在長(zhǎng)時(shí)間的使用都會(huì)由于自身磨損或者其它一些原因造成加工超差的發(fā)生。一般出現(xiàn)這種情況時(shí)，就需要使用激光干涉儀進(jìn)行精度的再校準(zhǔn)，sj6000激光干涉儀可同時(shí)測(cè)量出機(jī)床的螺距誤差值和反向間隙（又稱(chēng)背隙），通過(guò)精度再校準(zhǔn)，加工精度會(huì)大大提高。

可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡應(yīng)用實(shí)例斜床的傾斜軸測(cè)量

輕型線(xiàn)性鏡組附件應(yīng)用實(shí)例

sj6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)最高4m/s的測(cè)量速度，以及納米級(jí)的分辨率；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語(yǔ)言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、?jiǎn)潔化的記錄管理。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)：SJ6000

產(chǎn)品名稱(chēng)：SJ6000激光干涉儀

穩(wěn)頻方式：激光熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線(xiàn)性測(cè)量精度：0.5ppm（0-40）℃

線(xiàn)性測(cè)量距離：（0-80）m（無(wú)需遠(yuǎn)距離線(xiàn)性附件）

角度測(cè)量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測(cè)量分辨力：1nm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50KHz

預(yù)熱時(shí)間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%

主要特點(diǎn)：應(yīng)用范圍廣、測(cè)量精度高、操作方便

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋?zhuān)焊嘣敿?xì)產(chǎn)品信息，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取

通過(guò)與不同的光學(xué)鏡組結(jié)合，能實(shí)現(xiàn)對(duì)線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)。線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)精度0.5ppm，激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，還可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。