SJ6000激光光學(xué)干涉儀是一個交流測試系統(tǒng)，當(dāng)激光光束強(qiáng)度受環(huán)境影響發(fā)生變化時，其頻率不會受光強(qiáng)變化影響發(fā)生變化，也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此，它的抗擾力強(qiáng)，精度高，測量結(jié)果可靠，在高精度要求的芯片光刻機(jī)、計量檢測和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

性能特點

1、易操作，方便攜帶

SJ6000激光干涉儀和鏡組以及環(huán)境補(bǔ)償器，外形小巧美觀方便攜帶，一套完整的激光干涉儀和鏡組只需要裝在一個類似于行李箱的工具箱中，整體加起來的重量輕，再加上一個可以自由伸縮調(diào)整高度的三腳架（裝在無紡編織袋中），隨時隨地可用于機(jī)械測量。激光干涉儀與環(huán)境補(bǔ)償器都有端口和計算機(jī)USB接口相連，實時傳遞檢測數(shù)據(jù)，供計算機(jī)檢定軟件測算，檢定過程輕松易掌握，沒有復(fù)雜的程序設(shè)定。

2、高精確度保證動態(tài)性能

氦氖激光器持續(xù)輸出高穩(wěn)頻的激光源，再加上環(huán)境補(bǔ)償器，使線性測量的精度穩(wěn)定在0.5ppm，動態(tài)采集數(shù)據(jù)頻率高達(dá)50KHz，測量速度4m/sec，高速測量下的分辨率為1nm。

3、技術(shù)品質(zhì)高

精心的設(shè)計和嚴(yán)格把關(guān)的制造，持續(xù)提供技術(shù)支持，對產(chǎn)品質(zhì)量保證都顯得尤為重要，完善的售前、售中、售后和全國支持網(wǎng)絡(luò)。

4、適用性和靈活性

SJ6000激光干涉儀架設(shè)靈活，對各種復(fù)雜結(jié)構(gòu)的機(jī)床、平臺和導(dǎo)軌都具有廣泛適用性，測量快速簡便，減少重復(fù)定位測量的時間，同時得到精確直觀的檢測數(shù)據(jù)。

SJ6000激光光學(xué)干涉儀具有高精確測量、計算的系統(tǒng)性能和便攜式操作等特點。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。