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SuperViewW1三維光學(xué)表面輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SuperViewW1精密光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測(cè)量變得簡(jiǎn)單?？蓪?duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

SuperViewW13D光學(xué)白光干涉儀測(cè)量單個(gè)精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè)，具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)。它特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。

SuperViewW1粗糙度光學(xué)輪廓儀的載物臺(tái)尺寸為320*200mm（可定制），行程為140*110mm（可定制）；測(cè)量的Z向范圍可達(dá)10mm（2.5X鏡頭），Z向的精度可高達(dá)0.1nm?？蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW1光學(xué)三維3D表面輪廓測(cè)量?jī)x在同等放大倍率下，測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。其重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm。

SuperViewW1光學(xué)三維輪廓儀檢測(cè)儀器對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。