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表面形貌即為表面微觀幾何形態(tài)，不僅對(duì)接觸零件的機(jī)械和物理特性起著決定作用，而且對(duì)一些非接觸零件的光學(xué)和外部特性影響也很大。所以對(duì)表面形貌的精準(zhǔn)測(cè)量能正確地識(shí)別出加工過(guò)程的變化和缺陷，對(duì)研究表面幾何特性與使用性能的關(guān)系、控制和改進(jìn)加工方法等都...

白光干涉儀又叫做非接觸式光學(xué)3D表面輪廓儀，是以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成用于樣品表面微觀形貌檢測(cè)的精密儀器。它以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái)，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反...

高精度光柵測(cè)長(zhǎng)儀是一種測(cè)量長(zhǎng)度、位移和角度等物理量的精密儀器。它利用光柵原理，將光柵分成許多微小的條紋，通過(guò)測(cè)量光柵上的條紋數(shù)來(lái)確定被測(cè)物體的長(zhǎng)度或位移。利用物體與激光之間的相位差來(lái)計(jì)算物體長(zhǎng)度的。它由激光發(fā)射器、光柵板、檢測(cè)器和信號(hào)處理系...

半導(dǎo)體大規(guī)模生產(chǎn)過(guò)程中需要在晶圓上沉積集成電路芯片，然后再分割成各個(gè)單元，最后再進(jìn)行封裝和焊接，因此對(duì)晶圓切割槽尺寸進(jìn)行精準(zhǔn)控制和測(cè)量，是生產(chǎn)工藝中至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。VT6000系列共聚焦顯微鏡是中圖儀器傾力推出的一款顯微檢測(cè)設(shè)備，廣泛應(yīng)用于...

3D成像技術(shù)實(shí)現(xiàn)了二維到三維的升級(jí)。智能化制造下，具有3D成像功能的機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)可以更快，更準(zhǔn)確地檢查生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的組件。其中表面形貌的3D測(cè)量，包括了輪廓的測(cè)量以及表面粗糙度的測(cè)量，是微納結(jié)構(gòu)測(cè)量最為基礎(chǔ)和重要的項(xiàng)目。目前常用的微結(jié)構(gòu)表面形貌...

航空發(fā)動(dòng)機(jī)是一種高度復(fù)雜的精密熱力機(jī)械。作為飛機(jī)飛行的動(dòng)力，高性能航空發(fā)動(dòng)機(jī)追求的是在有限的自身重量和工作空間，以及惡劣的工作條件下，達(dá)到長(zhǎng)期穩(wěn)定的服役性能，所以它的設(shè)計(jì)、材料與制造技術(shù)的進(jìn)步起著關(guān)鍵性的作用。在航空發(fā)動(dòng)機(jī)上，存在較多的通過(guò)...